Elektroniikan puhdastilan prosessikemikaalit
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy · koko Suomi
Perustiedot
- Tarjousten määräaika
- to 28.3.2024 klo 12.00 (päättynyt)
- Kysymysten määräaika
- ti 12.3.2024 klo 12.00 (päättynyt)
- Hankkija
- Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Y-tunnus 2647375-4
- Toteutuspaikka
- koko Suomi
- Hankintalaji
- Tavarahankinta
- Menettely
- Avoin menettely, EU-hankinta
- Ilmoituksen tyyppi
- Hankintailmoitus
- Arvioitu kokonaisarvo
- Ei ilmoitettu
- Erät
- 4 erää
- Pääasiallinen CPV
- 24000000 Kemialliset tuotteet
- Sopimuskausi
- 48 kuukautta
- Julkaistu
- 28.2.2024
Ilmoituksen teksti
Alkuperäinen teksti Hilmasta, muuttamattomanaHankinnan kohteena ovat mikroelektroniikan komponenttien valmistuksessa käytettävät prosessikemikaalit. Kemikaalien tulee olla laadultaan soveltuvia alle 0.5 μm (viivanleveys) rakenteiden valmistamiseen.
Hankinnan kohteena olevia kemikaaleja käytetään VTT:n puhdastilassa Espoossa (Micronova). ISO 4 luokan tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetussa puhdastilassa valmistetaan pii-, lasi- ja ohutkalvomikrojärjestelmiä. VTT:llä on noin 50 tutkimusprojektia samanaikaisesti käynnissä puhdastilassa. Lisäksi puhdastilan laitteita, prosesseja ja kemikaaleja käyttää noin 20 ulkopuolista yritystä.
Hankinta on jaettu neljään osakokonaisuuteen:
• Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet
• Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet
• Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit
• Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet
Tarjoaja voi jättää tarjouksen yhteen tai useampaan hankinnan osakokonaisuuteen.
Hankinnan kohde on kuvattu tarkemmin tarjouspyyntöasiakirjoissa.
Erien kuvaukset
Erä 1: Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet
Osakokonaisuudessa 1 hankinnan kohteena ovat hapot, emäkset ja liuottimet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 2: Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet
Osakokonaisuudessa 2.1 hankinnan kohteena ovat AZ-kehitteet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 3: Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit
Osakokonaisuudessa 2.2 hankinnan kohteena ovat AZ-fotoresistit tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 4: Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet
Osakokonaisuudessa 3 hankinnan kohteena ovat seokset ja erikoistuotteet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erät
| Erä | Nimi | Ammattiala | Arvioitu arvo | CPV |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet Ratkaistu | – | – | 24000000 |
| 2 | Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet Ratkaistu | – | – | 24000000 |
| 3 | Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit Ratkaistu | – | – | 24000000 |
| 4 | Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet Ratkaistu | – | – | 24000000 |
Hankinnan vaiheet
-
Hankintailmoitustämä ilmoitus
Tarjouspyyntö julkaistiin, määräaika 28.3.2024 klo 12.00.
-
Voittajat: Elektrokem Oy ja Oy Celego Ab.