Elektroniikan puhdastilan prosessikemikaalit
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy · koko Suomi
Perustiedot
- Hankkija
- Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Y-tunnus 2647375-4
- Toteutuspaikka
- koko Suomi
- Hankintalaji
- Tavarahankinta
- Menettely
- Avoin menettely, EU-hankinta
- Ilmoituksen tyyppi
- Jälki-ilmoitus
- Sopimusten kokonaisarvo
- 1 600 000 € (alv 0 %)
- Puitejärjestelyjen enimmäisarvo
- 1 600 000 € (alv 0 %)
- Erät
- 4 erää
- Pääasiallinen CPV
- 24000000 Kemialliset tuotteet
- Julkaistu
- 5.6.2024
Hankinnan tulos
| Erä | Voittaja | Sopimusarvo | Tarjouksia | Päätös |
|---|---|---|---|---|
| Erä 1: Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet | Elektrokem Oy, Y-tunnus 1032571-4Oy Celego Ab, Y-tunnus 0536192-1 | enint. 760 000 € | 2 | |
| Erä 2: Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet | Elektrokem Oy, Y-tunnus 1032571-4 | enint. 200 000 € | 1 | |
| Erä 3: Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit | Elektrokem Oy, Y-tunnus 1032571-4 | enint. 380 000 € | 1 | |
| Erä 4: Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet | Elektrokem Oy, Y-tunnus 1032571-4 | enint. 260 000 € | 1 |
Voittajista näytetään nimi ja Y-tunnus. ”Ei ilmoitettu” tarkoittaa, ettei ilmoituksessa ole tätä tietoa erälle tai sopimukselle.
Puitejärjestelyissä arvo on hankkijan antama enimmäisarvo, ei toteutunut määrä.
Ilmoituksen teksti
Alkuperäinen teksti Hilmasta, muuttamattomanaHankinnan kohteena olivat mikroelektroniikan komponenttien valmistuksessa käytettävät prosessikemikaalit. Kemikaalien tuli olla laadultaan soveltuvia alle 0.5 μm (viivanleveys) rakenteiden valmistamiseen.
Hankinnan kohteena olevia kemikaaleja käytetään VTT:n puhdastilassa Espoossa (Micronova). ISO 4 luokan tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetussa puhdastilassa valmistetaan pii-, lasi- ja ohutkalvomikrojärjestelmiä. VTT:llä on noin 50 tutkimusprojektia samanaikaisesti käynnissä puhdastilassa. Lisäksi puhdastilan laitteita, prosesseja ja kemikaaleja käyttää noin 20 ulkopuolista yritystä.
Hankinta oli jaettu neljään osakokonaisuuteen:
• Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet
• Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet
• Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit
• Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet.
Erien kuvaukset
Erä 1: Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet
Osakokonaisuudessa 1 hankinnan kohteena olivat hapot, emäkset ja liuottimet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 2: Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet
Osakokonaisuudessa 2.1 hankinnan kohteena olivat AZ-kehitteet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 3: Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit
Osakokonaisuudessa 2.2 hankinnan kohteena olivat AZ-fotoresistit tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erä 4: Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet
Osakokonaisuudessa 3 hankinnan kohteena olivat seokset ja erikoistuotteet tarjouspyynnössä ja sen liitteissä kuvatun mukaisesti.
Erät
| Erä | Nimi | Ammattiala | Arvioitu arvo | CPV |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet | – | – | 24000000 |
| 2 | Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet | – | – | 24000000 |
| 3 | Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit | – | – | 24000000 |
| 4 | Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet | – | – | 24000000 |
Hankinnan vaiheet
-
Tarjouspyyntö julkaistiin, määräaika 28.3.2024 klo 12.00.
-
Jälki-ilmoitustämä ilmoitus
Voittajat: Elektrokem Oy ja Oy Celego Ab.