Kaasunvalvontajärjestelmä

VTT etsii uutta kaasunvalvontajärjestelmää. Järjestelmällä tullaan valvomaan kaasupitoisuuksia kokeellisissa tiloissa. Järjestelmän tavoite on taata turvallinen työympäristö kokeellisten tilojen työntekijöille.

1) Järjestelmän on kyettävä valvomaan Micronovassa käytettäviä kaasuja. Jäljempänä lueteltu kaasu ja mitta-alueen ohjearvo. -Ammoniakki (100 / 200 / 300 ppm) -Arseenivetyfosfiini (1 ppm) -Booritrifluoridi (10 ppm) -Booritrikloridi (10 ppm) -Diboraani (1 ppm) -Diboraani / Silaani (1 ppm) -Dikloorisilaani (10 ppm) -Disilaani / vety (1000 ppm) -Fosfiini (1 ppm) -Happi (0-25%, hälytysraja tason laskiessa alle 19%) -Suolahappo (10 / 30 ppm) -Suolahappo / Booritrikloridi / Dikloorisilaani (10 ppm) -Suolahappo / Dikloorisilaani (30 ppm) -Suolahappo / Vetyfluoridi (10 ppm) -Vetyfluoridi (30 ppm) -Häkä (300 ppm) -Kloori (10 ppm) -Metaani (100 %LEL) -Otsoni (1 ppm) -Piitetrakloridi (10 ppm) -Propaani (100 %LEL) -Silaani (5 ppm) -Tetraetyyliortosilikaatti (100 %LEL) -Vety (1000 ppm) -Vetybromidi (30 ppm) 2) Anturin on sovelluttava puolijohdeteollisuudessa yleisesti käytettävien prosessien tarpeisiin. Valvominen tulee voida suorittaa mm. poistokanavasta, huoneilmasta, kaasukaapista, prosessilaitteen sisältä. 3) Mittalaitteesta käytävä mittapisteellä ilmi mitattavan kaasun pitoisuus tarkasteluhetkellä. 4) Siltä osin, kun komponentteja asennetaan puhdastilaan (ISO4), on näiden komponenttien oltava puhdastilakäyttöön soveltuvia. 5) Järjestelmässä oltava valmius hälytyksen jälleenantoon ja jälleenannon estoon. 6) Järjestelmästä tulee voida yksilöidä hälyttävä kanava, pitoisuus ja valvottava kaasu. 7) Järjestelmän antama hälytys tulee voida laukaista manuaalisesti. 8) Kanavakohtainen relelähtö kaasunsyötön magneettiventtiileille, voidaan toteuttaa myös ohjelmallisesti. 9) Toimittajan on tarjottava asennuspalvelu sisältäen kaapeloinnin, järjestelmän ylösajon ja testauksen. 10) Asennus ja ylösajo on suoritettava vanhan järjestelmän rinnalla siten, että vanhan järjestelmän käyttö ei häiriinny asennuksen aikana. 11) Varaosien saatavuus taattava vähintään 10 vuotta järjestelmän käyttöönottopäivästä laskien. 12) Toimittajan on tarjottava järjestelmän ylläpitopalvelu sisältäen kalibroinnit, mahdolliset korjaukset, mahdolliset varaosat. 13) Toimittajan on pystyttävä tarjoamaan järjestelmän huoltokustannusarvio viiden vuoden käytön ajalle. 14) Järjestelmän toimittajan on tarjottava sähköposti- ja tukipuhelinpalvelu arkisin klo 8.00–16.00. Vasteaika tukipyyntöön voi olla korkeintaan kaksi arkipäivää. Huolto- ja tukipalvelun on oltava suomeksi. 15) Käyttöjärjestelmän lokalisaatio on oltava suomeksi. 16) Järjestelmässä on oltava valmius valvottavien kanavien lokitietojen automaattiseen tallentamiseen 365 päivän ajalta.