LPCVD LTO/PSG Furnace
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY · Uusimaa
Perustiedot
- Ilmoitettu päivämäärä
- su 22.8.2021 klo 12.00
- Ei tarjousten määräaika.
- Hankkija
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY, Y-tunnus 2647375-4
- Toteutuspaikka
- Uusimaa (FI1B1)
- Hankintalaji
- Tavarahankinta
- Menettely
- EU-hankinta
- Ilmoituksen tyyppi
- Vapaaehtoista ennakkoavoimuutta (ex ante) koskeva ilmoitus
- Arvioitu kokonaisarvo
- 270 000 € (alv 0 %)
- Sopimusten kokonaisarvo
- 270 000 € (alv 0 %)
- Pääasiallinen CPV
- 42300000 Teollisuus- tai laboratoriouunit, polttouunit ja muut uunit
- Julkaistu
- 28.7.2021
Suorahankinnan toimittaja
| Aiottu toimittaja | Sopimusarvo | Tarjouksia | Päätös |
|---|---|---|---|
| Expertech | 270 000 € | ei ilmoitettu |
Voittajista näytetään nimi ja Y-tunnus. ”Ei ilmoitettu” tarkoittaa, ettei ilmoituksessa ole tätä tietoa erälle tai sopimukselle.
Ilmoituksen teksti
Alkuperäinen teksti Hilmasta, muuttamattomanaLow-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end.
Erän kuvaus
Micronova cleanroom front end.LPCVD furnace is for front end
200 mm and 150 mm wafer processing including the following processes:
• LPCVD Low-Temperature Oxide (Silicon dioxide) LTO
• LPCVD (Phosphorus-Silicate Glass) PSG
• LPCVD (Boron doped Phosphorus-Silicate Glass) BPSG, to be possibly added later.
The required properties are low and controllable particle level, small footprint. The LTO/PSG furnace must be able to process thin films for the fabrication of optically and electrically active device
Hankinnan vaiheet
-
Tarjouspyyntö julkaistiin, määräaika 8.3.2021 klo 15.00.
-
Hankinta keskeytettiin.
-
Suorahankintatämä ilmoitus
Aiottu toimittaja: Expertech.