Plasma Asher/Stripper
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · koko Suomi
Perustiedot
- Tarjousten määräaika
- ti 20.4.2021 klo 12.00 (päättynyt)
- Hankkija
- VTT Technical Research Centre of Finland Ltd, Y-tunnus 2647375-4
- Toteutuspaikka
- koko Suomi
- Hankintalaji
- Tavarahankinta
- Menettely
- Kansallinen hankinta
- Ilmoituksen tyyppi
- Kansallinen hankintailmoitus
- Arvioitu kokonaisarvo
- Ei ilmoitettu
- Pääasiallinen CPV
- 38500000 Testaus- ja koelaitteet
- Julkaistu
- 24.3.2021
Ilmoituksen teksti
Alkuperäinen teksti Hilmasta, muuttamattomanaPlasma stripper with microwave generator produces a very high concentration of radicals with low energy ion bombardment and it can be used for resist removal and wafer surface cleaning. Plasma stripper/Asher was designed for basic production applications in the high-volume manufacturing of advanced semiconductor products, and related microelectronics industries such as power devices, MEMS, etc.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Erän kuvaus
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender
documents.
Hankinnan vaiheet
-
Hankintailmoitustämä ilmoitus
Tarjouspyyntö julkaistiin, määräaika 20.4.2021 klo 12.00.
-
TulevaJälki-ilmoitus
Ei vielä julkaistu.