Elektronilitografiapäivityspaketti kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin
Turun yliopisto · Varsinais-Suomi
Perustiedot
- Ilmoitettu päivämäärä
- pe 13.3.2026 klo 15.07
- Ei tarjousten määräaika.
- Hankkija
- Turun yliopisto, Y-tunnus 0245896-3
- Toteutuspaikka
- Varsinais-Suomi (FI1C1)
- Hankintalaji
- Tavarahankinta
- Menettely
- Kansallinen hankinta
- Ilmoituksen tyyppi
- Kansallinen suorahankinta
- Sopimusten kokonaisarvo
- 70 000 € (alv 0 %)
- Pääasiallinen CPV
- 38000000 Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)
- Julkaistu
- 25.2.2026
Suorahankinnan toimittaja
| Toimittaja | Sopimusarvo | Tarjouksia | Päätös |
|---|---|---|---|
| RAITH GmbH | 70 000 € | ei ilmoitettu |
Voittajista näytetään nimi ja Y-tunnus. ”Ei ilmoitettu” tarkoittaa, ettei ilmoituksessa ole tätä tietoa erälle tai sopimukselle.
Ilmoituksen teksti
Alkuperäinen teksti Hilmasta, muuttamattomanaKyseessä on Raith Elphy Quantum -laajennusosan hankinta Turun yliopiston Thermo Scientific Apreo S -kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin, mahdollistaen elektronisädelitografian olemassa olevalla laitteistolla. Elektronisädelitografia täydentää yliopiston maskittomaan valmistukseen soveltuvaa infrastruktuuria, mahdollistamalla nanometrikokoluokassa olevien rakenteiden valmistuksen.
Elphy Quantum -päivityspaketti sisältää tietokoneen, joka on laitevalmistajan (Raith GmbH, Saksa) puolesta varustettu lisäkortilla sekä ohjelmistolla, jolla voidaan ulkoisesti ohjata yliopiston Apreo-mikroskooppia. Tämän avulla on mahdollista käyttää elektronisädettä sopivien fotoresistien kanssa erilaisille substraateille haluttujen rakenteiden valottamiseen ilman maskeja.
Suorahankinnan perustelut
Kyseessä on Raith Elphy Quantum -laajennusosan hankinta Turun yliopiston Thermo Scientific Apreo S -kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin, mahdollistaen elektronisädelitografian olemassa olevalla laitteistolla. Elektronisädelitografia täydentää yliopiston maskittomaan valmistukseen soveltuvaa infrastruktuuria, mahdollistamalla nanometrikokoluokassa olevien rakenteiden valmistuksen.
Elphy Quantum -päivityspaketti sisältää tietokoneen, joka on laitevalmistajan (Raith GmbH, Saksa) puolesta varustettu lisäkortilla sekä ohjelmistolla, jolla voidaan ulkoisesti ohjata yliopiston Apreo-mikroskooppia. Tämän avulla on mahdollista käyttää elektronisädettä sopivien fotoresistien kanssa erilaisille substraateille haluttujen rakenteiden valottamiseen ilman maskeja.
Markkinakartoituksen perusteella tavallisten elektronimikroskooppien (kuten hankkijan käytössä oleva) päivitystä tekemään vaadittavia asioita tarjoaa vain muutama yritys. Kuitenkin selvityksen perusteella vain valitun toimittajan päivityspaketti on saatavilla sopimaan yhteen käytössä olevaan Thermo Scientificin elektronimikroskooppiin.
Toimittajia tähän tekniikkaan, eli elektronisädelitografiaan (electron beam lithography, EBL) on sinänsä markkinoilla useita, mutta pääsääntöisesti heidän tuotteensa ovat tuotantoon tarkoitettuja ja ovat itsessään koko laitteen sisältäviä (EBL-käyttöön lähtökohtaisesti suunniteltu pyyhkäisyelektronimikroskooppeja tai kokonaan dedikoituja EBL-laitteistoja) ja tämän vuoksi täysin eri hintaluokassa.
Turun yliopisto on päättänyt tehdä hankintalain (1397/2026) 40 §:n 2 momentin 2 kohdan nojalla suorahankinnan, koska vain tietty toimittaja, RAITH GmbH, kykenee teknisestä syystä johtuen toteuttamaan hankinnan. Hankinnan kohteelle ei ole olemassa järkeviä vaihtoehtoisia tai korvaavia ratkaisuja.