Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä

HANKINNAN KOHDE Hankinnan kohde on erikoislaite ohutkalvorakenteiden kasvattamista varten. Laitetta käytetään tutkimukseen ja tuotekehitykseen ja se on suunniteltu mahdollistamaan erityisen puhtaiden ja kontrolloitujen rakenteiden valmistamisen ultratyhjiössä. Laite käyttää 200 mm kiekkokokoa. SUORAHANKINTA Sovellettava oikeusperusta: Hankintalaki (1397/2016) 40 § 2 mom. 5 kohta Hankinta toteutetaan suorahankintana julkisista hankinnoista ja käyttöoikeussopimuksista annetun lain (1397/2016) 40 §:n 2 momentin 5 kohdan perusteella. Kyseisen säännöksen mukaan hankintayksikkö voi tehdä suorahankinnan, jos hankittava tavara valmistetaan vain tutkimusta, kokeilua, tuotekehitystä tai tieteellistä tarkoitusta varten eikä kyseessä ole massatuotanto tavaran valmistamisen taloudellisen kannattavuuden varmistamiseksi tai tutkimus- ja kehityskustannusten kattamiseksi; Hankinnan kohde on VTT:n yksilöityihin tarpeisiin tutkimuskäyttöön hankittava ultratyhjiössä toimiva materiaalidepositiolaitteisto, jota käytetään VTTn Micronovan puolijohdevalmistusprosesseissa. Laitteisto valmistetaan yksittäiskappaleena VTTn asettamien reunaehtojen ja vaatimusten mukaisesti asennettavaksi Micronovan puhdastilaan tieteellistä tarkoitusta varten. Laitteisto on suunniteltu uraauurtavaa tutkimusta ja uusien kyvykkyyksien kehittämistä varten, eikä laitteistoa valmisteta tai voida sellaisenaan käyttää muuhun käyttöön tai laajentaa kaupalliseen massatuotantoon. Laitteisto räätälöidään yksilöllisesti VTTn tarpeiden mukaan (depositiolaitteiden, materiaalien, höyrystyslaitteiden, tyhjiöpumppujen, kaasulinjojen, kammio-konfiguraatioiden, antureiden, mittalaitteiden ja monen muun muuttujan osalta). Hankintahinnalla katetaan vain tämän yksittäisen räätälöidyn laitteiston suunnittelu, valmistus ja asennus, eikä se sisällä toimittajan massatuotantoon tähtäävää kehitystyötä. Edellä mainituin perustein hankinnalle on mainitun lainkohdan mukainen suorahankintaperuste.

HANKINNAN KOHDE Hankinnan kohde on erikoislaite ohutkalvorakenteiden kasvattamista varten. Laitetta käytetään tutkimukseen ja tuotekehitykseen ja se on suunniteltu mahdollistamaan erityisen puhtaiden ja kontrolloitujen rakenteiden valmistamisen ultratyhjiössä. Laite käyttää 200 mm kiekkokokoa. SUORAHANKINTA Sovellettava oikeusperusta: Hankintalaki (1397/2016) 40 § 2 mom. 5 kohta Hankinta toteutetaan suorahankintana julkisista hankinnoista ja käyttöoikeussopimuksista annetun lain (1397/2016) 40 §:n 2 momentin 5 kohdan perusteella. Kyseisen säännöksen mukaan hankintayksikkö voi tehdä suorahankinnan, jos hankittava tavara valmistetaan vain tutkimusta, kokeilua, tuotekehitystä tai tieteellistä tarkoitusta varten eikä kyseessä ole massatuotanto tavaran valmistamisen taloudellisen kannattavuuden varmistamiseksi tai tutkimus- ja kehityskustannusten kattamiseksi; Hankinnan kohde on VTT:n yksilöityihin tarpeisiin tutkimuskäyttöön hankittava ultratyhjiössä toimiva materiaalidepositiolaitteisto, jota käytetään VTTn Micronovan puolijohdevalmistusprosesseissa. Laitteisto valmistetaan yksittäiskappaleena VTTn asettamien reunaehtojen ja vaatimusten mukaisesti asennettavaksi Micronovan puhdastilaan tieteellistä tarkoitusta varten. Laitteisto on suunniteltu uraauurtavaa tutkimusta ja uusien kyvykkyyksien kehittämistä varten, eikä laitteistoa valmisteta tai voida sellaisenaan käyttää muuhun käyttöön tai laajentaa kaupalliseen massatuotantoon. Laitteisto räätälöidään yksilöllisesti VTTn tarpeiden mukaan (depositiolaitteiden, materiaalien, höyrystyslaitteiden, tyhjiöpumppujen, kaasulinjojen, kammio-konfiguraatioiden, antureiden, mittalaitteiden ja monen muun muuttujan osalta). Hankintahinnalla katetaan vain laitteiston suunnittelu, valmistus ja asennus, eikä se sisällä toimittajan massatuotantoon tähtäävää kehitystyötä. Edellä mainituin perustein hankinnalle on mainitun lain kohdan mukainen suorahankintaperuste.